新凯来量检测设备进入全面量产

IT时代网10月27日消息，新凯来在2026湾芯展现场确认，其半导体设备已全面进入量产，并在国内多家晶圆厂投入使用，应用覆盖先进逻辑与存储领域。该公司此次展出的装备覆盖刻蚀、扩散、薄膜沉积、光学检测、光学量测、物理与X射线量测等环节，形成工艺装备与量检测装备两大产品线。产品手册新增两款此前未公开的检测设备：六盘山图形掩模缺陷检测设备面向掩模厂与芯片制造厂，用于掩模制造工艺监控、出货检与来料检；井冈山多电子束晶圆缺陷检测设备面向纳米级尺寸及电性缺陷检测，集成缺陷智能检测、定位与分类能力。量检测环节是国产设备当前最薄弱的一环。机构报告显示，2025年中国本土厂商在国内晶圆制造设备市场的整体份额已升至21%，刻蚀与薄膜沉积分别达到31%和27%，但量检测仅约10%。

注：本文中包含AI辅助创作的内容。

编辑：林一舟