国产光刻机出海 江苏海思第17台出口欧洲设备验收

IT时代网10月14日消息，江苏海思半导体科技有限公司宣布，10月12日境外客户验收代表团走进其洁净车间，对一台即将出口的全自动光刻机完成出厂验收，按双方约定，验收通过后设备随即启程发运。这是自2024年以来该公司出口境外市场的第17台光刻设备。

本次出口设备为面向8英寸即200毫米晶圆的全自动掩模对准光刻机，此前一天即10月13日，另一台同规格设备刚完成出厂调试与客户验收装车发运，两台机器中后者将承担硅基Micro LED晶圆的图形化制程。

资料显示，江苏海思半导体核心团队拥有15年黄光区光刻工艺经验：2019年1微米级全自动接触式光刻机实现规模商用，2023年商用步进式光刻机上市，2024年推出350纳米与500纳米分辨率的步进式投影光刻机。公司目前在苏州相城与成都天府新区布局双基地，产品覆盖2至12英寸晶圆的单面、双面对准光刻设备，应用于MEMS、集成电路、化合物半导体、功率器件、3D封装、AR及Micro LED等领域。需要说明的是，该公司与华为旗下海思技术有限公司并非同一家企业。

此前，本站曾报道过江苏海思8英寸全自动光刻机完成验收发运。

注：本文综合自IT之家等，文中包含AI辅助创作的内容。

编辑：林一舟