俄罗斯130nm光刻机原型完成验收 成本约650万美元

IT时代网10月9日消息，据媒体报道，俄罗斯130纳米分辨率步进式光刻机原型已完成研发并通过验收，制造成本约5.422亿卢布（约650万美元）。

此前，本站曾报道过俄罗斯完成130nm光刻设备样机，当时该项目由泽列诺格勒的ZNTC总负责，光刻系统本身由白俄罗斯的Planar公司开发，光源由Lassard研发，俄罗斯工业和贸易部为整个研发计划拨款约7000万美元。

最新披露的成本明细显示，支付给Planar的设备与零件制造费用、原型调试费用等累计超过10亿卢布，其中光刻机制造成本5.422亿卢布，两个激光器成本分别为4900万卢布和4600万卢布。

ZNTC在项目中负责装置整体开发、测试台和工艺台结构设计、物镜计算以及工艺建模和开发。对俄罗斯而言，此前其不具备这类光刻机的生产能力，本次完成验收属于新突破。

公开信息显示，全球能够生产此类光刻机的企业此前仅有荷兰ASML、日本佳能和尼康、中国上海微电子。

注：本文中包含AI辅助创作的内容。

编辑：林一舟