COXEM离子抛光机首批出口牛津仪器

IT时代网9月30日消息，据The Elec报道，电子显微镜厂商COXEM表示，其离子抛光机已向英国牛津仪器（Oxford Instruments）完成首批出货。这是双方去年7月签署ODM供货协议约14个月后的首次发货，货值约330万美元。

该离子抛光机将借助牛津仪器的全球销售网络供应欧洲、北美和亚洲等主要市场。牛津仪器将其电子背散射衍射（EBSD）方案与该抛光机打包提供，EBSD用于配合电子显微镜分析金属、陶瓷、半导体等晶体材料的晶体结构。

离子束抛光机是在电子显微镜观察前用离子束对样品表面进行精确刻蚀与抛光的制样设备。传统机械抛光可能在表面形成变形层，影响分析信号；COXEM的技术使用氩离子束获得清洁截面，减少变形、裂纹与污染。

与全球竞争对手的聚焦离子束-扫描电镜（FIB-SEM）系统相比，两者在加工面积与速度上有区别：FIB-SEM可精确加工数微米以下的极小区域，适合纳米级缺陷的精细分析；离子束抛光机则以每小时1000微米的速度快速加工最大数毫米的较宽区域。在半导体领域，它可用于观察硅通孔（TSV）、高带宽存储器（HBM）微凸块以及多层陶瓷电容器（MLCC）的内部层级等结构与缺陷。以COXEM的IP-10K为例，在8千伏电压下对硅片的研磨速度为每小时1000微米。

双方的合作从产品开发与评估算起历时四年多。COXEM称，以自主设计开发的设备进入全球企业的供应链具有重要意义。

编辑：林一舟