国产高纯石英获准用于半导体设备与DRAM制造

IT时代网9月11日消息，据海外媒体报道，国产石英材料在半导体供应链上的自主化又往前挪了一步。美国媒体指出，太平洋石英（Pacific Quartz）用于半导体制造设备的部件，已经开始进入国内存储大厂的产线。

半导体硅片所用的晶锭，是在高纯熔融石英坩埚里拉制的，这类石英的纯度通常要达到 5N 以上（二氧化硅含量高于 99.999%），对多种关键杂质的限制极为苛刻。长期以来，能满足这一要求的石英原料主要掌握在位于北卡罗来纳州 Spruce Pine 的 Sibelco、The Quartz Corp 以及俄罗斯的 Russian Quartz 手中。

太平洋石英从 2019 到 2020 年起，就向泛林集团（Lam Research）和东京电子（Tokyo Electron）供应超高纯石英耗材，包括 LPCVD 扩散管、晶舟、石英锭、石英板和各类高纯石英管。用于工艺设备的石英纯度一般在 4N5 到 5N 之间（约 99.995% 至 99.999% 二氧化硅），刚好够得上半导体设备的门槛。

更受关注的是最新进展：太平洋石英称，采用自产高纯石英砂制成的产品，已经通过国内一家头部 DRAM 厂商（外界普遍认为是中国长春的 CXMT）的认证，可用于 300 毫米晶圆生产。这意味着从石英砂提纯、到加工成半导体炉管材料、再进入 DRAM 晶圆厂的链条，在国内基本跑通。

不过报道也提醒，半导体炉管对电活性杂质和移动污染物的上限要求极严，否则杂质会迁移到高温硅片上，改变晶体管特性、拉低良率。眼下国产石英在设备耗材环节取得突破，但上游高纯原料的整体自主能力，距离彻底摆脱外部依赖仍有距离。

编辑：林一舟