国产200kV透射电镜发布 具备量产交付能力

IT时代网10月19日消息，据科技日报报道，10 月 18 日，国仪量子技术（合肥）股份有限公司自主研发的 200kV 场发射透射电镜 TEM-F200 在南京市 2026 年全国电子显微学学术年会上正式发布。该产品信息分辨率达到 0.1 纳米，点分辨率达到 0.25 纳米，多项关键性能指标达到国际一流水平，并已具备量产交付能力。

这标志着国产高端透射电镜从研制突破加快迈向产品化交付。透射电镜是半导体、先进材料、新能源和生命科学等领域的关键分析工具，其利用高能电子束穿透样品，通过采集透射、散射和衍射电子进行成像，在原子尺度表征晶体结构、界面和缺陷。

长期以来，全球透射电镜市场由少数国际厂商占据，国内用户在设备采购、关键部件供应、维修维护、软件适配和应用服务等方面存在外部依赖。高端透射电镜实现国产化，有助于提升科学仪器供应链的自主可控水平。

200kV 场发射透射电镜对电子枪、高压电源、电子光学、探测器和整机控制等多个系统的协同稳定性要求极高。国仪量子团队通过自主研发，完成了从核心模组、控制分析软件、系统集成到整体优化的全流程。

国仪量子董事长贺羽介绍，200kV 透射电镜具有更高的加速电压，电子束动能更高、波长更短，相对低电压平台对一定厚度范围内的高密度样品穿透能力更强；在合适薄区样品和相应分析附件配合下，可以更好地支持半导体、先进材料等领域的高分辨成像、界面与缺陷分析以及纳米尺度微区成分分析。

中国仪器仪表学会分析仪器分会总干事吴爱华表示，200kV 透射电镜可应用于材料研发、芯片微观结构与失效分析、生物医学和产品质量控制等科研与产业领域。

编辑：林一舟