华洋精机联手蔡司推出半导体测量设备COSMA-M

IT时代网10月9日消息，中国台湾地区半导体设备制造商华洋精机本月5日宣布携手蔡司推出半导体测量设备COSMA-M，瞄准光罩、先进封装、晶圆领域的高精度测量需求。

该设备可提供纳米级测量精度，稳定度达3σ小于3nm，能满足先进制程对高精度测量的严苛要求，结合配套模块可实现全自动化测量。应用范围覆盖DUV掩膜、先进封装、TGV、CPO等领域，目前已获得部分潜在客户的送样验证测试。此前，本站曾报道过三丰在德累斯顿设立半导体计量中心。

注：本文综合自IT之家等，文中包含AI辅助创作的内容。

编辑：林一舟