NEXTIN获SK海力士254亿韩元检测设备订单

IT时代网10月7日消息，据The Elec报道，韩国半导体检测与量测设备厂商NEXTIN宣布，已与SK海力士签订晶圆检测系统供货合同，金额约254.4亿韩元。

这笔合同相当于NEXTIN去年669亿韩元营收的38.02%。供货设备来自AEGIS系列，属于前道半导体检测系统，基于二维成像技术，在晶圆上精细电路形成的过程中执行检查。

AEGIS的工作方式是向晶圆表面投射光线，用多枚CMOS传感器采集电路图像，再与正常图案图像比对，识别精细电路中的纳米级缺陷与颗粒。设备同时集成明场与暗场两套光学系统，前者利用反射光，后者利用散射光，检测模式可按工艺特点切换。NEXTIN称，相比把明场与暗场拆成两台设备的竞品，这套方案在价格竞争力和工艺效率上更有优势。

设备预计交付给SK海力士龙仁新建半导体产业园区第一座工厂Y1。合同期限到明年11月25日，NEXTIN需在此之前完成设备制造、交付、安装与调试。

本次合同没有预付款，公司未披露设备付款条件。半导体厂商通常在设备安装调试完成后支付款项。

编辑：林一舟