JSR在韩国建成EUV光刻胶工厂

IT时代网10月1日消息，据The Elec报道，日本JSR株式会社旗下韩国子公司JSR Micro Korea于9月30日宣布，其位于韩国忠清北道清州梧仓外商投资区的半导体材料工厂已经竣工，将用于生产极紫外（EUV）光刻所需的金属氧化物光刻胶（MOR）。

该工厂是JSR首个EUV MOR量产基地。JSR在2021年收购美国Inpria公司后开始把MOR推向商用，梧仓工厂将承担MOR的最终生产工序。

MOR是一种无机光刻胶，相比有机体系材料具有更高的抗蚀刻能力，可减少光刻过程中的图形坍塌，适合形成精细图形。随着EUV工艺持续微缩，MOR被视为能够补充传统化学放大型光刻胶（CAR）的下一代材料。

JSR表示，借助新的生产基地，公司可以更快速地响应韩国主要客户的需求，同时增强本地化生产与质量保障能力，并有助于稳定关键半导体材料的供应。

编辑：林一舟