泛林与PSK斜边刻蚀机专利案下月宣判

IT时代网9月20日消息，据The Elec报道，泛林集团起诉 PSK 斜边刻蚀机侵犯专利权一案已完成庭审，首尔中央地方法院将于下月作出裁决。

该案第六次庭审于 9 月 17 日在首尔中央地方法院第 62 民事部举行。泛林集团在 2021 年提起诉讼，主张 PSK 的斜边刻蚀机侵犯其专利，按诉状金额索赔 6 亿韩元，并要求销毁相关设备。PSK 则反诉请求宣告该专利无效。

斜边刻蚀机用于去除晶圆边缘即斜边区域形成的不稳定金属与非金属薄膜。PSK 已实现该设备的本土化，并向 SK 海力士等客户供货。在 PSK 进入这一市场之前，泛林集团在斜边刻蚀机领域处于垄断地位。

案件争议焦点是设备内部关键零部件气体扩散环（GDR）的实际形态。这一耗材部件用于在工艺腔内注入并控制气体，呈中心开口的环形结构，泛林集团依据第 247 号专利（登记号 1249247）享有其独占使用权。PSK 方面则称自己使用的是中心封闭的板状部件。

在本次庭审中，双方公开了该零部件的部分图纸。法庭已结束辩论，裁决将于下月公布。

编辑：林一舟