俄罗斯350纳米光刻机正式量产

IT时代网9月13日消息，俄罗斯正把首台自主研发的350纳米光刻机投入批量生产。首台 Progress STP-350 计划于今年12月交付莫斯科的 Mapper 公司，标志着该国重建本土半导体设备产业迈出关键一步。

第二台设备将交付 Element 集团旗下的 Industry Solutions 公司。更值得关注的是，俄罗斯已经启动130纳米光刻技术的研发，首台350纳米设备或许只是其更大规模半导体装备计划的起点。泽列诺格勒纳米技术中心与白俄罗斯企业 Planar 合作，开发了这套面向350纳米工艺节点的生产系统。

尽管350纳米工艺远不及当前先进制程，但它对工业电子、功率器件、汽车零部件和专用传感器依然不可或缺。计划12月交付的设备不仅是增加一台工厂装备，更意味着俄罗斯已完成从实验室研发到光刻系统批量制造的跨越。Mapper 是首家客户，隶属于俄罗斯国家技术集团（Rostec），通过 Shvabe 控股公司与之相关联；Element 集团旗下企业则将接收第二套系统。

Progress STP-350 是一款投影式步进光刻机，能把光掩模上的图形转移到半导体衬底上，曝光区域22毫米乘22毫米，工艺分辨率350纳米，可处理直径200毫米的晶圆，更适合成熟节点制造而非尖端逻辑芯片。俄方表示，下一代国产光刻系统预计2027年投入使用，届时能生产130纳米芯片，进一步拓宽本土可自主开发的半导体应用范围。

注：本文中包含AI辅助创作的内容。

编辑：林一舟