国产首台全自动板级CMP装备进入量产线

IT时代网9月9日消息，华海清科今日宣布，其自主研发的全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX近日顺利出机，发往先进封装产线投入量产应用。华海清科表示，作为国内首台进入量产线的全自动板级CMP装备，此次出机标志着我国板级封装核心工艺装备实现了从研发到应用的关键跨越，为先进封装产业的自主发展提供了重要支撑。随着人工智能、高性能计算、5G通信与物联网等技术持续演进，芯片制造对集成度、功耗和成本的要求不断提升，先进封装正成为延续摩尔定律、支撑高端算力的重要路径。板级封装凭借产出效率与成本优势，在CoPoS、FOPLP及TGV互连等先进工艺中的应用日益广泛，产品尺寸由晶圆级向面板级拓展已成为明确趋势。在这一过程中，多层再分布互连结构的全局平坦化对CMP工艺提出了更高要求，板级CMP装备的性能直接关系到介质层与金属层的平坦度、缺陷水平及界面质量，是保障互连可靠性和最终芯片良率的核心环节。据介绍，Master-P510APEX针对大尺寸板级封装的工艺特点进行了系统性设计，具备优异的全板面均匀性与平坦化控制能力，可满足低缺陷抛光要求，并通过智能终点检测与自动化控制实现多种工艺模式的灵活切换，为先进封装产线提供高一致性、高良率的规模化量产支持。

注：本文综合自IT之家等，文中包含AI辅助创作的内容。

编辑：林一舟